真空燒結爐石墨件遇到哪些情況可以采用緊急措施?
2022年08月05日
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真空燒結爐石墨件
真空燒結爐石墨件主要用于半導體元件和功率整流器件的燒結工藝。 可用于真空燒結、氣體保護燒結和常規燒結。 是半導體專用設備系列中的一種新型工藝設備。 結構緊湊,可在一臺設備上完成多項工藝流程。 也可用于其他領域的真空熱處理、真空釬焊等工藝。 那么我們來看看真空燒結爐在以下三種情況下可以采取的應急措施。
一.加熱電源斷電
1、水壓低。 當水壓低于0.15MPa時,壓力表報警。
2. 接地故障。
3、真空放電時,水冷電極接頭與加熱器的連接必須牢固,與反射屏的絕緣性要好。
4、如果爐內壓力為13.3-66.5Pa(這個真空度容易放電)。 停電,停電的原因可以認為是由于介質擊穿引起的放電。
二.停止膨脹氣體
1、抽真空開始前,如果充氣時間長或無法充氣,請確認燃氣管道是否堵塞。
2、如果燃氣管道沒有問題,檢查電磁閥和充氣閥的動作。 為安全起見,所有與其相關的設備應在檢查前停止。
3、當無法停止向真空室充氣時,當泄壓閥動作時,例如泄壓閥動作時,必須關閉所有氣體系統,包括供氣閥和管道。
4、確認充氣管道是否有漏氣現象,如有,將影響產品質量。
三、停電
1、斷電時,如斷水,應立即接通備用冷卻水,并接通水源。
2、如果設備在不加熱、加熱和冷卻過程中能盡快恢復,重新啟動設備,如果需要較長時間繼續運行,保持設備原狀。
3、如果正在加熱和冷卻,盡快恢復時重啟設備。 如果需要較長時間,請保持原樣,讓設備自然冷卻。
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