真空爐熱處理工藝一般包含加熱、保溫、冷卻三個進程，有時只要加熱和冷卻兩個進程。這些進程相互銜接，不可連續。
        加熱是熱處理的重要工序之一。金屬熱處理的加熱方法許多，最早是選用木炭和煤作為熱源，從而運用液體和氣體燃料。電的運用使加熱易于控制，且無環境污染。利用這些熱源能夠直接加熱，也能夠經過熔融的鹽或金屬，以致起浮粒子進行直接加熱。
       金屬加熱時，工件暴露在空氣中，常常發生氧化、脫碳(即鋼鐵零件表面碳含量下降)，這關于熱處理后零件的表面功用有很倒霉的影響。因此金屬通常應在可控氣氛或維護氣氛中、熔融鹽中和真空中加熱，也可用涂料或包裝方法進行維護加熱。
        高真空燒結爐加熱溫度是熱處理工藝的重要工藝參數之一，選擇和控制加熱溫度,是確保熱處理質量的首要問題。加熱溫度隨被處理的金屬材料和熱處理的目的不同而異，但一般都是加熱到相變溫度以上，以取得高溫安排。另外改變需求必定的時間，因此當金屬工件表面到達要求的加熱溫度時，還須在此溫度堅持必定時間，使表里溫度一起，使顯微安排改變徹底，這段時間稱為保溫時間。選用高能密度加熱和表面熱處理時，加熱速度極快，一般就沒有保溫時間，而化學熱處理的保溫時間往往較長。
       冷卻也是熱處理工藝進程中不可短少的步驟，冷卻方法因工藝不同而不同，首要是控制冷卻速度。一般退火的冷卻速度最慢，正火的冷卻速度較快，淬火的冷卻速度更快。但還因鋼種不同而有不同的要求，例如空硬鋼就能夠用正火相同的冷卻速度進行淬硬。
       金屬熱處理工藝大體可分為整體熱處理、表面熱處理和化學熱處理三大類。依據加熱介質、加熱溫度和冷卻方法的不同，每一大類又可區分為若干不同的熱處理工藝。同一種金屬選用不同的熱處理工藝，可取得不同的安排，從而具有不同的功用。鋼鐵是工業上運用最廣的金屬，而且鋼鐵顯微安排也最為復雜，因此鋼鐵熱處理工藝品種繁復。