石墨熱場的設(shè)計(jì)制造及特性應(yīng)用有哪些?
直拉單晶爐的熱體系,也便是所謂的熱場,石墨熱場體系的作用是指為了熔化硅料,并使單晶生長保持在必定溫度下進(jìn)行的整個(gè)體系。
石墨熱場一般包含(石墨資料)壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓,且為了避免漏硅,爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。
單晶爐石墨熱場簡單的說便是用來拉單晶硅的整套石墨加熱體系。常見的是18寸、22寸和24寸的石墨熱場。一種盛行的石墨熱場行業(yè)規(guī)范設(shè)計(jì)設(shè)計(jì)方案是選用石墨資料制作熱場隔熱部件。規(guī)范的石墨保溫資料由板狀或許多層毯狀石墨化碳纖維資料組成,在接近熱場中心的內(nèi)外表往往需求加覆一層石墨紙或碳碳復(fù)合資料薄板用來提高熱反射率和避免高壓氣流的沖刷。
由于等靜壓石墨熱場資料自身所具有的多孔性和可滲透性,各層隔熱資料之間不需求預(yù)留額外的空間。石墨資料具有優(yōu)秀的隔熱性能,本錢一般較金屬屏低,并且非常易于使用。就制作本錢,耐用性和可維護(hù)性而言,石墨隔熱軟氈較石墨隔熱硬氈具有必定的優(yōu)勢。通過生產(chǎn)實(shí)踐,金屬隔熱屏往往不適于環(huán)境惡劣的真空釬焊工藝。
石墨熱場廠家用石墨資料制作石墨熱場的隔熱部件,實(shí)踐證明,盡管在釬焊工藝中會(huì)有很多焊料沉積在石墨隔熱資料的外表,可是卻不會(huì)產(chǎn)生熔解的焊料與石墨隔熱資料的熔合現(xiàn)象。雖然有人會(huì)質(zhì)疑,以為石墨資料比金屬資料更簡單吸收水分,水分對釬焊工藝進(jìn)程損害很大,可是,實(shí)踐證明熱場循環(huán)往復(fù)的升溫與降溫會(huì)很好地排除石墨隔熱資料中的水分。
石墨熱場的特性如下:
一.單晶硅石墨熱場,是一個(gè)及物理,化學(xué),幾何歸納理論為一體,專門研究人員通過多年重復(fù)考證。多年經(jīng)驗(yàn)總結(jié)擬定。
二.熱場選用細(xì)結(jié)構(gòu)中粗石墨做爐底護(hù)盤,保溫罩,上下蓋。選用進(jìn)口等靜壓石墨做加熱器,坩堝,導(dǎo)流筒,托桿,鍋托等,確保了石墨坩堝的強(qiáng)度及純度。
三.熱場是單晶硅成晶的重要條件之一,熱場的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶,以及拉制單晶的質(zhì)量好壞,其原料好壞直接影響熱場壽命。