單晶硅爐用石墨熱場(chǎng)是什么?
2023年08月25日
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真空爐
單晶硅爐用石墨熱場(chǎng),是一個(gè)集物理、化學(xué)、幾何歸納理論為一體,專(zhuān)門(mén)研究人員通過(guò)多年反復(fù)考證,多年經(jīng)驗(yàn)總結(jié)制定。
單晶硅爐熱場(chǎng)選用細(xì)結(jié)構(gòu)中粗石墨做爐底護(hù)盤(pán)。保溫罩、上下蓋選用進(jìn)口等靜壓石墨做加熱器、坩鍋、導(dǎo)流簡(jiǎn)、托桿、鍋托等,保證了石墨坩堝的強(qiáng)度及純度。
熱場(chǎng)是單晶硅成晶的重要條件之一,熱場(chǎng)的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶,以及拉制單晶的質(zhì)量好壞,其材質(zhì)好壞直接影響熱場(chǎng)壽數(shù)。
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