真空燒結爐是一種瓷坯在真空條件下燒結的辦法，氧化物陶瓷坯體的氣孔中含有的水蒸氣、氫、氧等氣體在燒結進程中借溶解、分散沿著坯體晶界或經過晶粒可從氣孔中逸出。但其間的一氧化碳、二氧化碳，特別是氮，由于溶解度較低，不易從氣孔中逸出，致使制品內含有氣孔，細密度下降。如將坯體在真空條件下燒結，則所有氣體在坯體尚未燒結前就會從氣孔中逸出，使制品不含氣孔，從而進步制品的細密度。
       在高溫和必定的真空度下，使具有必定形狀的陶瓷坯體經物理化學進程變為細密、堅固、體積穩定、具有必定性能的燒結體。物理化學進程包括粘滯活動、分散、蒸騰、凝聚、新相構成、溶解和沉淀、固溶體發生等。在進程進行中，粉末總外表能下降，宏觀上表現出坯體縮短，強度增加；微觀上表現為氣孔數量削減，氣孔形狀、大小改變，晶粒尺度及描摹變化，晶粒長大，晶界削減，結構細密化。瓷坯中含有必定量的氣孔，其間水蒸氣、氫氣、氧氣能憑借溶解和分散進程從關閉氣孔中逸出，一氧化碳、二氧化碳和氮氣等由于溶解度較低，不易從關閉氣孔中逸出。樣品置于真空條件下，施加必定的驅動力，使氣體從關閉氣孔中逸出，能進步瓷件的細密度。爐內壓力為負壓的條件下進行的燒結稱為真空燒結。有間歇式真空燒結，也有接連式真空燒結。接連式真空燒結由于爐子比較復雜，真空度欠好保證，沒有辦法通人氣體，燒結工藝曲線欠好調整等，應用的很少。間歇式真空燒結有專門的真空燒結爐，裝備配套的脫蠟爐；也有脫蠟—燒結一體爐。目前干流真空燒結是脫蠟（成型劑）和真空燒結在同一爐內一次完成的一體爐。
         1、削減了有害成分，真空燒結爐削減了氣氛中有害成分（水、氧、氮）對產品的不良影響。例如要使電解氫氣中含水量只需真空度只要到達必定壓強就相當于含水量為很難到達的露點。而銷量好的真空燒結爐獲得這樣的真空度相對簡單。而且對于宜用還原性或惰性氣體作維護氣氛（如活性金屬的燒結），或不簡單呈現脫碳、滲碳的資料均可用真空燒結。
　　  2、改進固相的性質，真空可改進液相對固相的潤濕性，有利于縮短和改進合金的組織。而且真空燒結有助于硅、鋁、鎂、鈣等雜質或其氧化物的掃除，起到凈化資料的效果。而且真空有利于掃除吸附氣體、孔隙中的殘留氣體以及反應氣體產物，對促進燒結后期的縮短有明顯效果。如真空燒結的硬質合金的孔隙度要明顯低于在氫氣中燒結的硬質合金。
　　  3、溫度要求低，真空燒結爐溫度比氣體維護燒結的溫度要低一些，如燒結硬質合金時燒結溫度可下降很多溫度。這有利于下降能耗和避免晶粒長大。而且真空燒結時經過嚴格控制真空度，即便爐內壓力不低于燒結金屬組分的蒸氣壓，也可大大削減或避免燒結硬質合金時呈現鉆的蒸發損失。