直拉單晶爐熱場系統由什么構成?
太陽能光伏職業的好壞直接關系到單晶硅的質量,合格的熱場能夠成長出高質量的單晶,因此創造杰出的熱場條件,在直拉單晶工藝上有非常重要的因素。石墨是單晶成長的載體,石墨在直拉單晶爐中以高純石墨和等靜壓石墨加工件為主。
依據實際情況的需要,熱場的巨細依據石英坩堝的直徑巨細來劃分的,目前我國熱場從φ12"~φ28"都有,一般情況下φ18"~φ22"居多。
我們在這里所講的直拉單晶爐熱場系統就是所謂的熱場,,熱場一般包含壓環、保溫蓋、上中下保溫罩、(三瓣式)石墨坩堝、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓,未來避免漏硅,爐底、金屬電極、托桿都設置了保護板和保護套。
加熱器是熱場中很重要的部件,是直接發熱體,溫度最高的時候能夠達到1600度以上。常見的加熱器有三種形狀,筒狀、杯狀、螺旋狀。就石墨觸摸到的單晶硅加熱器形狀一般都是直筒狀的。一般情況下,加熱器選用的高純石墨加工。
石墨電極的效果平穩固定加熱器并經過他歲加熱器運送電流。因此在電極要厚重,結實經用、表面要潤滑平穩,確保杰出的觸摸面,通電時不打火,石墨電極也是有高純石墨加工的。
坩堝托桿、坩堝和托盤一起構成了石墨坩堝的支撐體,要求和下軸結合結實,對中性杰出在下軸進行滾動時,托桿及托盤的擺渡小于等于0.5mm石墨支撐體的高度是能夠調節的。
保溫罩分為上、中、下保溫罩,保溫罩是由一個保溫筒外面包裹石墨碳氈而成,石墨碳氈的包裹的層數依據情況而定。下保溫罩組成了底部的保溫體系,它效果是加強鍋底保溫,提高堝底溫度,削減熱量丟失。
保溫蓋有保溫上蓋、保溫碳氈和保溫下蓋組成,即兩層環狀石墨之間夾一層石墨碳氈組成。導流筒主要是未來控制熱場的溫度梯度和引導氬氣流。
石墨壓環由幾截弧形構成的圓形環狀石墨件,放置在蓋板與爐壁觸摸處,是為了避免熱量和氣體從壁爐與蓋板的縫隙間的經過。
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