目前單晶硅廠家使用的石墨熱場是相當成功的。第一，由于石墨氈是絕緣的，總厚度在100MM以上，保證了徑向溫度梯度盡可能小的條件。二是由于熱場較大，使用的坩堝一般在250MM以上，這樣保溫罩和蓋的直徑也較大，具有足夠的縱向散熱功能，保證了晶體縱向溫度梯度足夠大的條件，加強了托碗底部的保溫效果。保證了熔體中縱向溫度梯度相對較大的條件。這種熱場結晶速率高，有利于單晶自始至終的無位錯生長，無需過度調節。區別在于產量和節能效果不同。但這些指標往往與設備良率、管理水平等綜合因素有關。從熱場結構看，有的加強徑向保溫，采用碳碳復合材料，降低能耗。

   眾所周知，熱場的部件，如加熱器、三瓣坩堝、石墨支架、隔熱罩等，都是由石墨制成的。在生產過程中，經常會遇到加熱裝置損壞的現象。那么石墨器件損壞的原因是什么，應該采取什么措施來延長石墨器件的壽命呢？石墨器件損壞的原因主要有兩個:人為和變質。只要加強管理，強化員工的防范意識，就可以把損失降到低點。

首先，我們來了解一下石墨的特性。

1.特殊抗熱震性。石墨的熱膨脹是各向異性的，所以宏觀膨脹系數不大。在溫度突變的情況下，石墨的體積變化不大。再加上其良好的導熱性，石墨的抗熱震性好。如上所述，石墨部件應該能夠在高溫下長時間穩定工作。

2.耐高溫。石墨的熔點非常高。在真空中3850度，低壓升華，升華溫度2200度。與一般材料不同的是，當溫度升高時，石墨不僅沒有軟化，反而強度增加。在2500度時，石墨的抗拉強度加倍。