石墨熱場是單晶硅結(jié)晶的重要條件之一
2022年06月15日
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石墨熱場
熱場是單晶硅結(jié)晶的重要條件之一。熱場的梯度分布直接影響單晶能否拉制,以及拉制單晶的質(zhì)量,其材質(zhì)直接影響熱場的壽命。我公司與國內(nèi)最早的單晶硅企業(yè)合作了十多年。18-22英寸石墨熱場與國內(nèi)外石墨材料合作開發(fā)成功,建立了自己的石墨熱場生產(chǎn)基地。長期應(yīng)用主要單晶硅生產(chǎn)基地。對(duì)使用的石墨材料和整個(gè)熱場壽命進(jìn)行了肯定,并為以后的生產(chǎn)特別制定了以下標(biāo)準(zhǔn)。
單晶硅爐石墨熱場是一個(gè)物理、化學(xué)和幾何的綜合理論,是由專業(yè)研究人員經(jīng)過多年的反復(fù)考證和多年的經(jīng)驗(yàn)總結(jié)而形成的。
精細(xì)結(jié)構(gòu)的中粗石墨用作熱場的底部保護(hù)板。保溫罩、上下罩采用進(jìn)口等靜壓石墨作為加熱器、坩堝、導(dǎo)流板、支撐桿、鍋托等。,保證了石墨坩堝的強(qiáng)度和純度。
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