石墨管按護(hù)模設(shè)計(jì)準(zhǔn)確裝入爐內(nèi)。 合上蓋子，啟動(dòng)真空機(jī)械泵排氣，待爐內(nèi)真空度低于1mmHg后開始升溫。 提高到所需的沉積溫度約 1 小時(shí)，然后按以下比例通入氮?dú)夂捅闅猓焊袘?yīng)爐為 2:1，碳管爐為 5:1。 必須保證氣體均勻地通過石墨管的內(nèi)外表面。 沉積時(shí)間的長(zhǎng)短取決于涂層厚度要求。 在整個(gè)沉積過程中，機(jī)械泵一直在工作，在加入新鮮丙烷氣的同時(shí)，熱解氣體產(chǎn)物通過除塵器排出爐外。 當(dāng)達(dá)到所需的沉積時(shí)間時(shí)，停止原料氣的供應(yīng)，切斷電源，關(guān)閉機(jī)械泵的閥門，停止排氣。 但爐內(nèi)仍保持負(fù)壓，自然冷卻后放爐。