說到器材和集成電路一般以硅器材（各種回憶單元、MPU)為代表，可是也有化合物半導體器材和LCD(液晶)。這類器材的制造設備也大多運用高純石墨部件。下面僅介紹其中一部分。

（1）液晶。當今，液晶制品已成為電子顯示技術所不可或缺的器材，往后，其運用范圍還會不斷擴大。液晶器材的制造運用玻璃基板，因為在基板上構成回路的辦法與硅器材根本相同，其工藝進程也大量地運用炭素制品，因為版面所限不再詳述，但其大有作為。

(2）化合物半導體器材。最常見的化合物半導體器材有發光二極管和半導體激光。圖所示為發光二極管的制造工藝。

    這里所運用的石墨制品有制造（化合物）單品棒時加熱用的加熱器和坩塌，以及外延成長置藝用的工裝。工業上所運用的外延成長法有液相外延法（LPE）和有機金屬CVD(MOCVD)法。圖2-37所示的是LPE法。LPE法的工藝為把化合物單晶片置于石墨滑板上，使熔融的同成分化合物（元素合作比不同）單晶片逐層成長，熔融物的容器也用石墨資料。工藝進程中若有金屬成分混入，將阻止二極管/激光的發光，所以有必要運用高純石墨部件。

（3）液晶制造玻璃基板熱處理用的石墨板。在對液晶顯示設備用的玻璃基板進行緩冷處理時，運用內埋金屬加熱器的石墨板。為了避免石墨粉黏附在玻璃上，一般運用玻璃炭涂層石墨。另外，因為玻璃基板的平面度極為重要，要求石墨板本身的平面度要好。玻璃金屬封

（4）TFT型液晶顯示用離子注入設備部件。作為液晶顯示方法的一種，TFT方法是在Si薄膜上構成多個晶體管，可是需求添加摻雜物質的As或P。其做法與硅半導體相同也用離子注入法，部分設備也運用高純石墨部件。因為離子束的沖擊以及避免晶體管器材內混入摻雜物質以外的不純物，也需求運用高純石墨。