主要指標(biāo)半導(dǎo)體石墨的選擇是什么?
正級(jí)燒結(jié)石墨閘缽半導(dǎo)體職業(yè)是一個(gè)新式的科技產(chǎn)業(yè),近年來(lái)備受關(guān)注,越來(lái)越多的公司開(kāi)端進(jìn)入半導(dǎo)體職業(yè),而石墨已經(jīng)成為半導(dǎo)體職業(yè)開(kāi)展不可或缺的材料之一。半導(dǎo)體需求使用石墨的導(dǎo)電性,由于石墨的含碳量越高,導(dǎo)電性就會(huì)越好,一般需求考慮的指標(biāo)有:粒度、耐熱性、純度。
粒度對(duì)應(yīng)不同的網(wǎng)格數(shù),標(biāo)準(zhǔn)用網(wǎng)格數(shù)表示。網(wǎng)格是孔的數(shù)量,每平方英寸孔的數(shù)量。一般網(wǎng)孔x孔徑(微米)=15000。導(dǎo)電石墨的網(wǎng)目尺寸越大,顆粒尺寸越小,潤(rùn)滑功能越好,可用于潤(rùn)滑材料生產(chǎn)領(lǐng)域。半導(dǎo)體職業(yè)所用的粒度應(yīng)該十分細(xì),由于更簡(jiǎn)單實(shí)現(xiàn)加工精度,抗壓強(qiáng)度高,損耗比較小,特別是關(guān)于燒結(jié)模具,要求加工精度高。
粒度散布如:20目、40目、80目、100目、200目、320目、500目、800目、1200目、2000目、3000目、5000目、8000目、12500目,小可為15000目。
許多產(chǎn)品在半導(dǎo)體職業(yè)的應(yīng)用都是需求接連加熱的,為了延伸器材的使用壽命,這就要求導(dǎo)電石墨具有以下功能:優(yōu)秀的可靠性和耐高溫沖擊功能。
半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)石墨的要求是:純度越高越好,特別是兩者之間觸摸的石墨器材,如果雜質(zhì)太多,會(huì)污染半導(dǎo)體材料。因而,咱們需求嚴(yán)格控制導(dǎo)電石墨的純度,還需求將其通過(guò)高溫石墨化工藝,以大限度地降低灰級(jí)。