如何延長石墨熱場器件的壽命呢?
2023年10月30日
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石墨熱場器件
熱場便是熱體系。在機械中一般指單晶爐熱場,便是單晶爐中的熱體系。單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶資料熔化,用直拉法成長無錯位單晶的設備。石墨熱場簡單的說便是用來拉單晶硅的整套石墨加熱體系。最常見的是18寸的石墨熱場。
眾所周知,熱場的組成部分如加熱器、三瓣堝、石墨托、熱屏等均由石墨加工而成。在生產過程中,常常能碰到加熱器材損壞的現象,那么石墨熱場器材損壞的原因是什么,應該采取什么樣的措施來延長石墨熱場器材的壽數呢?石墨熱場器材的損壞,主要有人為和劣化兩個方面的原因。人為方面只要加強管理,強化職工防備意識,就可以將丟失降到最低點。這兒主要討論劣化。
首要我們來了解石墨的有關特性,1.耐高溫性,石墨的熔點極高,在真空為3850度,在低壓下提高,提高溫度為2200度,與一般資料不同,當溫度升高時石墨不但不軟化,強度反而增高,在2500度時,石墨的抗拉強度反而增加一倍。
2.特別的抗熱震性,石墨的熱膨脹性具有各向異性,因此宏觀膨脹系數不大,在溫度突變的情況下,石墨的體積改變也不大,再加上其良好的導熱性能,因此石墨的抗熱震性良好。
諸上兩點所述,石墨熱場器材應該能夠長期的在高溫下穩定作業。
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