石墨舟皿去垢前的檢查工作：

石墨舟在使用過程中接近100次時需要操作人員及時檢查鍍膜情況，出現鍍膜異常，需要進行清洗確認。

硅片在石墨舟內正常鍍膜顏色為藍色，片內出現非藍色、多種顏色或片與片間顏色差異較大，都為鍍膜異常，需要工藝確認異常原因。

由工藝人員對舟的鍍膜情況進行分析后，確定石墨舟是否需要清洗以及卡點是否需要更換，生產將需清洗的舟交由設備人員清洗。

石墨舟確定需要清洗后，由設備、生產、工藝三方對石墨舟進行檢查。做好以上檢查后，接著就是去垢的方法：

1、打開酸槽排水閥，待廢酸排盡，用水槍對酸槽進行沖洗。

2、關上閥門，將石墨舟放進酸槽中，打開進水閥門，往酸槽里放入純水直到水能夠淹沒石墨舟為止，關閉水閥。然后在酸槽加入HF酸（4瓶），把清洗機的窗戶關好，然后開始清洗（要在酸中浸泡6個小時左右）。清洗過程中戴好防酸堿手套，將石墨舟從酸槽中取出查看是否清洗干凈，如果到時間還未洗干凈，再繼續清洗，直到干凈為止。

3、清洗干凈之后，放入水槽，用水槍沖洗后關上排水閥，放水，以水沒過舟為準，漂洗一般需2個小時。

4、清洗完畢后，將石墨舟從水槽中取出，用氣槍吹掉表面明顯的水珠。

5、將石墨舟抬入專用烘箱，關上烘箱門鎖緊；打開電源開關—風機開關—升溫開關—報警開關；溫控表設定溫度80度。石墨舟在烘箱烘干6—8小時（經過測試石墨舟在烘箱烘干后與使用前的石墨舟無差別方可取出）。

6、設定溫度20度，一般降溫半個小時烘箱里的石墨舟達到常溫，可以取出。

7、將石墨舟上的全部螺母扭緊并檢查石墨舟全部的陶瓷件，需要更換工藝點的石墨舟，取出后需要入維修間專用貨架等待維修。以上就是處理石墨舟皿表面的方法。