在半導體制作過程中，會增加石墨粉以進步功能。
半導體用石墨粉的要求：
1、純度規則
　　半導體行業對石墨粉質料有很高的規則，尤其是兩者之間接觸的石墨器材，假如雜質過多會污染質料。因此，除了嚴格管理石墨質料的純度外，還必須經過高溫將灰度降到最低。
2、粒度分布規則
　　半導體工業級石墨質料要求粒度細，粒度細的石墨極易生產加工精度高，而且高溫抗壓強度高，耐磨性好和撕小。
3、耐熱性規則
　　半導體工業生產石墨器材，大部分需求接連加熱和冷卻，為了進步器材的使用壽命，石墨粉必須具有優良的高溫可靠性和抗高溫沖擊功能。