真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進行真空燒結(jié)，氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體用設(shè)備系列中種新穎的工藝裝備，它設(shè)計構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。