如果在平時的測試中真空爐內有液體，需要一個液體蒸發的過程(在高真空下不需要加熱就可以蒸發)，這部分液體可以通過長時間抽真空來蒸發，達到高真空(等穩)。
如果長期達不到目標氣壓，應考慮系統和羅茨泵。可以直接測量羅茨泵的極限真空(不接其他系統)。如果處于良好狀態，將確定系統的密封性能。
(1)真空熱處理爐的水冷裝置、外殼、爐蓋、電加熱元件(水冷電極)的單獨配置、中間真空隔熱門等部件都在真空和加熱狀態下工作。在這樣極其不利的條件下工作，必須保證各部件結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因此，應根據不同情況對各部分設置水冷裝置，以保證真空熱處理爐能正常運行并有足夠的使用壽命。
(2)采用低電壓大電流:在真空容器中，當真空空位在幾托-1×10-1托范圍內時，真空容器中的帶電導體會在較高的電壓下產生輝光放電。在真空熱處理爐中，會發生嚴重的電弧放電，燒壞電熱元件和隔熱層，造成嚴重的事故和損失。因此，真空熱處理爐電加熱元件的工作電壓一般不超過80-100伏。同時，在電熱元件的結構設計上應采取有效措施，如盡量避開尖銳部分，電極間距不能過窄，防止輝光放電或電弧放電。
(3)絕大部分加熱保溫材料只能在真空中使用:真空熱處理爐的加熱保溫內襯工作在真空和高溫下，因此要求這些材料耐高溫、蒸汽壓低、散熱效果好、導熱系數低。對抗氧化性能要求不高。因此，鉭、鎢、鉬和石墨被廣泛用作真空熱處理爐的加熱和隔熱材料。這些材料在大氣中容易氧化，所以常規熱處理爐不能使用這些加熱隔熱材料。
(4)嚴格的真空密封:眾所周知，金屬零件的真空熱處理是在封閉的真空爐中進行的。因此，獲得并保持爐子的原始漏風率，保證真空爐的工作真空度，對保證零件的真空熱處理質量具有重要意義。因此，真空熱處理爐的一個關鍵問題是具有可靠的真空密封結構。為了保證真空爐的真空性能，在真空熱處理爐的結構設計中必須遵循一個基本原則，即爐體應采用氣密焊接，同時盡量少開孔或不開孔，采用或避免動密封結構，以盡量減少真空泄漏的機會。安裝在真空爐體上的元件和附件，如水冷電極和熱電偶引出裝置，也必須設計有密封結構。
(5)自動化程度高:真空熱處理爐自動化程度高，是因為金屬工件加熱、冷卻等操作需要十幾個甚至幾十個動作才能完成。這些操作是在真空熱處理爐中進行的，操作者無法接近。同時，有些動作，如加熱保溫后，金屬工件的淬火過程需要6個動作，應在15秒內完成。在如此快速的條件下完成很多動作，容易使操作者緊張，造成誤操作。所以，只有高度的激勵，才能準確及時地按照程序協調動作。