真空熱處理爐是真空技術和爐腔內熱處理的混合體，用于在接近真空或部分真空的狀態下進行熱處理。根據真空爐的要求，真空狀態可分為低、中、高、超高真空系統。目前，大多數真空熱處理爐的工作真空度為1.33 ~ 1.33× 10 ˉ Pa。

1.高真空系統
高真空系統適用于真空度為6.6×10 ~ 1.333×10ˊpa的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐等。它通常由三級真空泵單元組成。主泵通常是油擴散泵和離子泵，初級泵多為旋轉機械泵或滑閥機械泵。  

2.低真空系統
低真空系統適用于真空度為2 ~ 1333 Pa的真空熱處理爐，如預抽低真空井式爐。大多數油封旋轉機械泵是主泵。

3.中真空系統中的真空系統適用于真空度為3X10~~1.333Pa的真空熱處理爐，真空熱處理爐廣泛采用真空系統，通常由兩級真空泵機組組成。主泵多采用旋轉式機械泵或滑閥式機械泵，主泵采用機械增壓泵或油增壓泵。