使用區熔單晶爐進行以下操作:

1.清潔和裝填熔爐；

2.抽真空、充氣和預熱；

3、熔化播種；

4.長出細脖子；

5.擴肩充氮；

6.轉動肩部，握住并松開固定器；

7.結束、停爐、清爐、裝爐:清理全爐內壁和加熱線圈、反射鏡、晶托、上軸、下軸，調整加熱線圈、反射鏡與上軸、下軸的水平和對齊；將多晶體材料夾具固定在多晶體材料尾部的缺口處，然后安裝在上軸的端部，使多晶體材料居中；將籽晶安裝在籽晶卡盤上，然后安裝在下軸頂部；關閉每個爐門，擰緊每個緊固螺栓。