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熱場一般包括(石墨材料)壓環、隔熱罩、上、中、下隔熱罩、石墨坩堝(三瓣坩堝)、坩堝支撐桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導流管、石墨螺栓。為了防止漏硅,爐底、金屬電極和支撐桿都有保護板和保護套。
單晶爐石墨熱場_等靜壓石墨熱場_ 石墨熱場系統簡單來說就是用來拉單晶硅的完整的石墨加熱系統。常見的有18寸石墨熱場。?單晶石墨熱場以22寸和24寸為主。一種流行的設計方案是用石墨材料制作熱場隔熱件。標準的石墨絕熱材料由片狀或毯狀石墨化碳纖維組成,在靠近熱場中心的內表面往往涂有一層石墨紙或碳-碳復合片,以提高熱反射率,防止高壓氣流的侵蝕。由于石墨材料本身的多孔性和滲透性,不需要在隔熱材料層之間預留額外的空間。石墨具有優異的隔熱性能,其成本通常低于金屬屏,并且非常易于使用。就制造成本、可靠性和可維護性而言,石墨絕緣軟氈優于石墨絕緣硬氈。通過生產實踐,金屬隔熱罩往往不適合環境惡劣的真空釬焊工藝。
焊料中的金屬物質會沉積在金屬隔熱罩的表面。由于隔熱罩的熱膨脹系數與附著的焊料物質的熱膨脹系數不同,金屬隔熱罩會彎曲斷裂,降低金屬隔熱罩的隔熱性能。在釬焊合金濺射的情況下,金屬篩網容易損壞,導致篩網表面上的孔,熱量將從這些孔傳遞。
當然,使用較厚的金屬屏,尤其是鉬合金屏,會延長金屬熱場的使用壽命,但會增加可觀的成本。比較好的解決辦法是用石墨材料做保溫部件。實踐證明,雖然在釬焊過程中會有大量焊料沉積在石墨隔熱材料表面,但熔化的焊料與石墨隔熱材料之間不會發生熔合。雖然有人可能會懷疑石墨材料比金屬材料更容易吸水,水對釬焊過程有害,但實踐證明,熱場的反復加熱和冷卻可以有效地消除石墨絕熱材料中的水。