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在單晶硅生產(chǎn)中,經(jīng)常發(fā)現(xiàn)石墨零件的使用壽命往往比預(yù)期壽命短得多。過多的更換石墨零件,增加了石墨煅燒的次數(shù)和電能的消耗,不僅增加了企業(yè)的生產(chǎn)成本,也制約了產(chǎn)能的有效發(fā)揮。
出現(xiàn)這種情況有幾個(gè)原因:
1錯(cuò)誤的材料選擇
因?yàn)槭跓釄?chǎng)中的作用不同,所以使用的材料必然不同。一般情況下,電極、連桿、加熱器、加熱器螺桿、石墨坩堝、尾水管、尾水管支撐環(huán)、保溫管都應(yīng)采用等靜壓生產(chǎn)的細(xì)結(jié)構(gòu)、高強(qiáng)度石墨材料,以滿足生產(chǎn)的實(shí)際需要。
其他設(shè)備,如底盤、反射鏡、防漏板、上蓋板等。,可采用擠壓或中粗結(jié)構(gòu)石墨制造。前提是在生產(chǎn)中能滿足生產(chǎn)要求。
2設(shè)計(jì)不合理。
在石墨零件的使用過程中,有一些看似石墨問題的事故,其實(shí)很多都是設(shè)計(jì)上的缺陷造成的。
因此,在設(shè)計(jì)石墨零件時(shí),除了材料本身的等級(jí)和規(guī)格外,還必須充分考慮石墨零件在使用中所要求的強(qiáng)度,并確定石墨零件的幾何尺寸。
3使用方法不當(dāng)
在石墨零件使用的諸多問題中,石墨坩堝的斷裂占有很大比重,使用不當(dāng)是不可忽視的主要原因。
正常情況下,一個(gè)18”或20”的石墨坩堝可以使用45爐左右。然而,雖然有很多石墨坩堝在設(shè)計(jì)、選材、加工、煅燒等方面都沒有問題,但其使用壽命仍然很短,有些石墨坩堝在破碎后還遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)不到其自然損耗的程度。