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眾所周知,石墨坩堝使用說明書中的缺陷會減少石墨坩堝的使用時間,進而增加生產(chǎn)廠家自身的成本。今天大家就實際談?wù)劯呒兪珶釄鲋圃熘械碾y題,以及人們應(yīng)該如何解決。
隨著社會經(jīng)濟發(fā)展的趨勢,許多單晶硅制造商都精于高純石墨熱領(lǐng)域的應(yīng)用。原因有二:*高純石墨氈便于保溫使用,厚度超過100mm,合理保證了軸向系數(shù)溫度會小的標準。其次,由于熱量接近,石墨坩堝的厚度可以超過250mm,上下捆綁樣品的保溫桶規(guī)格會足夠大,有足夠的垂直熱管散熱。
電熱器、三瓣坩堝、高純石墨托和隔熱罩等熱場的組成都是由石墨制成的。在加工過程中,發(fā)熱元件經(jīng)常損壞。那么高純石墨中元器件損壞的原因是什么,應(yīng)該采取什么對策來延長高純石墨中元器件的使用壽命呢?
高純石墨中成分的破壞主要是人為和變質(zhì)造成的。在人的因素層面,如果改進管理方法,加強員工的安全意識,就可以把傷害降到最低。這里是討論變質(zhì)的關(guān)鍵。*祖先們掌握了高純度石墨的相關(guān)特性。
1.耐熱性,高純石墨的熔點極高,在真空泵里是3850度,底壓上升,上升溫度是2200度。與普通原料不同,當溫度升高時,高純石墨不僅不軟化,其抗壓強度反而增加。在2500度時,高純度石墨的抗壓強度加倍。
2.獨特的抗熱震性。高純石墨有各種熱變形,所以宏觀熱膨脹系數(shù)不大。在溫度劇烈變化的情況下,高純石墨的體積變化不大。加上其優(yōu)異的傳熱性能,高純石墨具有優(yōu)異的抗熱震性。
最重要的是,高純石墨應(yīng)能在高溫下長時間穩(wěn)定工作。
總的來說,花瓣坩堝相對于其他高純石墨部件,如保溫罩、電熱器等,都是由相同的原料、相同的廠家、相同的辦公環(huán)境制成的。為什么使用壽命 遠遠短于保溫罩和電暖器?三瓣坩堝開裂的關(guān)鍵原因來自應(yīng)時坩堝。
1.由于熔融硅的相對密度高于固態(tài)硅,在整個制冷過程中,底鍋材料會使應(yīng)時坩堝開裂,而應(yīng)時坩堝迎合了三瓣坩堝。當應(yīng)時坩堝開裂產(chǎn)生的地應(yīng)力超過三瓣坩堝所承受的地應(yīng)力時,三瓣坩堝就會開裂,這也是為什么三瓣坩堝在火鍋底料剩余過多的情況下會開裂的原因。
2.如果加熱時間過長,方解石坩堝質(zhì)量不合格,原料ph值不超過規(guī)定值,就會造成漏硅、滲硅。熔融硅滲透到三瓣坩堝之間的縫隙中,中間冷卻后,會損壞三瓣坩堝,另一種是使三瓣坩堝相互粘連。爐子清理的時候,分開了就壞了。
3.在整個加熱過程中,只有三瓣坩堝的熱源來自兩個層面,一個是電加熱器的輻射源,另一個是來自應(yīng)時坩堝的傳輸,導(dǎo)致三瓣坩堝遇到不均勻的熱量,可能會導(dǎo)致三瓣坩堝在加熱過程中在某些方向膨脹,在另一些方向塌陷,從而導(dǎo)致其破裂。